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东佑达奈米系统平台 扩大布局半导体、面板、PCB

作者:深圳市万里疆科技有限公司 浏览: 发表时间:2022-01-19 14:20:16

受到这两年来疫情影响国内外自动化工业展时程,各家自动化厂商纷纷于今年台北国际自动化工业展上,倾巢而出过去所累积的技术能量及产品。东佑达自动化公司(Toyo)则不仅在规划“滑台模组”、“电动缸”、“单轴机械手”、“线马模组”、“桌上型/直交机械手”、“无人搬运系统”6大展区,同时将透过新成立“东佑达奈米系统公司”,提供产业链最佳自动化解决方案。

目前东佑达奈米系统公司已成功售出数十部空气轴承单轴、龙门双驱、XYZ、XYZθ平台机种,应用于半导体封测、印刷电路板等应用领域。


其中被东佑达视为明日之星的“线马模组”系列产品,除了甫获得2022年台湾精品奖的“LGW系列轨道内嵌式线性马达机械手”,採用高精度内嵌式滚珠滑轨,搭配全新设计自制线性马达的模组化设计,而大幅缩小本体高度至64~75mm,为同级商品中最低、体积减少40%以上,相对减省设备所需安装空间时间及人工成本。

另因应市场对于精密定位、高速移载与微米、奈米之控制需求不断提升,东佑达今年更率先成立“东佑达奈米系统公司”,投入研发制造与销售奈米与微米级定位系统,推出高精度奈米级空气轴承/线性马达平台等一系列传动元件/系统新品,支援半导体、印刷电路板(PCB)、Micro/Mini LED等科技业高速运算领域。


东佑达表示,该公司奈米级平台係採取线性马达及滑轨的结构设计,除了精度比起一般螺杆更高,以1μm精度与自家线性马达模组市场区隔,不致于因为传统滚珠滑轨结构面对面接触、磨擦而生热或噪音,缩短使用寿命。进而搭配刚性与稳定度俱佳的天然花岗岩基座、空气轴承的专利“共面式结构”设计,共用同一基准面,克服在平面、正交垂直面上的直线X-Y轴上下堆叠设计,容易累积误差问题;并通过包括水平度、垂直度、Pitch、Roll、轴线性位移、Yaw等超高6D自由度精度验证,分别达到<1μm、1marc sec。

此亦归功于东佑达利用自家厂内加工的优势,将节流元件直接崁入花岗岩基座再经过研磨,让空气通过而形成pad浮起檯面。有别于国内外同业在机台四角以螺丝锁固节流元件方式,难以精准控制空气流量,一旦未调整好角度时,就会受到移动过程中震动而偏移、撞机,导致节流元件变形,未能使檯面完全浮起,恐让结构长期摩擦受损。


反观东佑达奈米级空气轴承平台,即使撞机也不会失效,也会透过感测器监控气压是否足够,不足时停机以防止磨擦而失去精度。且因为经过不同角度通过的空气维持结构面零接触,甚至可实现高刚性与高承载能力,承受10G加减速度衝击。“以此推算,倘若一般滑轨大约以1kg力道就能推动10kg物件,空气轴承便相当于可以相同力道推动100kg物件,降低所需马达规格、功率,既省钱又节能。”目前已成功售出数十部空气轴承单轴、龙门双驱、XYZ、XYZθ平台机种,应用于半导体封测产业的高速移载取放料、微鑽孔精密加工、光罩检查、印刷电路板DI曝光机等应用领域。


东佑达奈米系统平台 扩大布局半导体、面板、PCB
东佑达自动化公司(Toyo)则不仅在规划“滑台模组”、“电动缸”、“单轴机械手”、“线马模组”、“桌上型/直交机械手”、“无人搬运系统”6大展区,同时将透过新成立“东佑达奈米系统公司”,提供产业链最佳自动化解决方案。
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